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GTS系列機(jī)器人位姿準(zhǔn)確度激光跟蹤測量儀是同時(shí)具高精度(μm級)、大工作空間(百米級)的高性能光電測量儀器。可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用,能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題。
PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環(huán)境復(fù)雜的場景。比傳統(tǒng)光柵精度高10倍,分辨率達(dá)原子層級(10nm=100個(gè)原子直徑?。? PLR3000 系列光纖激光尺已在多個(gè)客戶端進(jìn)行精度驗(yàn)證:用差分干涉(DI)探頭對高精度納米位移臺(tái)進(jìn)行閉環(huán)控制,在10mm行程內(nèi)任意位置實(shí)現(xiàn)納米級位置控制精度。
中圖儀器GTS系列0.5μm干涉測距精度激光跟蹤儀可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用,能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題,廣泛應(yīng)用在飛機(jī)、汽車、船舶、航天、機(jī)器人、核電、軌道交通裝備制造行業(yè)以及大型科學(xué)工程、工業(yè)母機(jī)的高精密加工和裝配中。
PLR3000納米級精度激光尺測量儀是新一代高精度位置檢測設(shè)備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。
GTS空間位置坐標(biāo)激光跟蹤測量儀可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用,能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題,廣泛應(yīng)用在飛機(jī)、汽車、船舶、航天、機(jī)器人、核電、軌道交通裝備制造行業(yè)以及大型科學(xué)工程、工業(yè)母機(jī)的高精密加工和裝配中。
中圖儀器PLR3000高精準(zhǔn)度激光尺品牌0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
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