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PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進(jìn)位置檢測(cè)設(shè)備，10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級(jí)測(cè)量需求，是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計(jì)，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

GTS多儀器協(xié)同激光跟蹤測(cè)量?jī)x核心軟件套件——SpatialMaster（PTB認(rèn)證）支持多儀器協(xié)同測(cè)量與GD&T評(píng)定，數(shù)據(jù)可溯源。它以μm級(jí)精度+百米級(jí)測(cè)量范圍的硬核實(shí)力，整合多元智能技術(shù)與全流程解決方案，在航空航天、汽車制造、軌道交通等制造領(lǐng)域，大尺寸工件測(cè)量精度不足、復(fù)雜特征檢測(cè)難、裝配效率低、多環(huán)境適配差等痛點(diǎn)，賦能工業(yè)高質(zhì)量生產(chǎn)。

PLR3000系列系統(tǒng)級(jí)精度激光尺以激光干涉核心技術(shù)+硬核數(shù)據(jù)支撐，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

中圖儀器GTS坐標(biāo)測(cè)量激光跟蹤儀以μm級(jí)精度+百米級(jí)測(cè)量范圍的核心優(yōu)勢(shì)，整合多元技術(shù)與智能方案，解決大尺寸工件測(cè)量精度不足、復(fù)雜特征檢測(cè)難、裝配效率低、多環(huán)境適配差等測(cè)量痛點(diǎn)。為超大型工件、工業(yè)母機(jī)、大型科學(xué)裝置等場(chǎng)景提供全域高精度測(cè)量解決方案。

PLR3000多軸測(cè)量光纖激光尺基于激光干涉測(cè)量原理，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域，提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

GTS空間位置坐標(biāo)激光跟蹤儀兼顧15μm+6μm/m空間精度與30-80米測(cè)量半徑，輕松覆蓋大型、超大型工件全維度測(cè)量需求。