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VT6000系列3d成像激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學顯微鏡。使用的探測元件是高靈敏度的光電倍增管，對微弱的熒光信號可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度，并且還可以通過縮小激發(fā)范圍并使用光學切片來消除背景噪聲。能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000材料生產(chǎn)用共聚焦顯微鏡在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)準確量測物體的三維數(shù)據(jù)。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列共聚焦激光掃描顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，儀器測量精度高；儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲，在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠，具有良好的測量重復(fù)性。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

VT6000系列共聚焦掃描顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

中圖儀器VT6000共焦顯微鏡是一款以共聚焦技術(shù)為原理、用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器?？蓪ζ骷砻孢M行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。

中圖儀器共聚焦顯微鏡（VT6000系列）3D+2D全維測量材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)，包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺設(shè)備滿足多維度檢測需求。