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PLR3000多軸測(cè)量光纖激光尺基于激光干涉測(cè)量原理，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域，提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

PLR3000非接觸高精度測(cè)量光纖激光尺用于對(duì)精度要求苛刻、環(huán)境復(fù)雜的場(chǎng)景。比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達(dá)原子層級(jí)（10nm=100個(gè)原子直徑?。? PLR3000 系列光纖激光尺已在多個(gè)客戶端進(jìn)行精度驗(yàn)證：用差分干涉（DI）探頭對(duì)高精度納米位移臺(tái)進(jìn)行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位置控制精度。

PLR3000納米級(jí)精度激光尺測(cè)量?jī)x是新一代高精度位置檢測(cè)設(shè)備，基于激光干涉測(cè)量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。

中圖儀器PLR3000高精準(zhǔn)度激光尺品牌0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測(cè)量，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

0.2ppm線性測(cè)量精度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測(cè)設(shè)備，基于激光干涉測(cè)量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。

PLR3000納米級(jí)高精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。同時(shí)提供多種干涉探頭配置 ，用戶可根據(jù)實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測(cè)量探頭，滿足用戶各種復(fù)雜場(chǎng)景應(yīng)用。