一.中圖儀器激光干涉儀顯著特點(diǎn)

1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量兩種功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價(jià)比高

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國內(nèi)儀器的良心價(jià)。

二.中圖儀器激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、zui高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

三.執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

四.中圖激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

• 測(cè)量方式：單頻

• 穩(wěn)頻精度：0.05ppm

• 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

• 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

• 工作溫度范圍：0~40℃

• 環(huán)境溫度范圍：0~40℃

• 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

• 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

• 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 測(cè)量距離：0-40m

• 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)

• 測(cè)量分辨率：1nm

• 測(cè)量zui大速度：4m/sec