中圖儀器VT6000材料共聚焦顯微鏡系統(tǒng)主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量，如材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)的測量，具有直觀測量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。廣泛用于半導(dǎo)體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域中。

一、產(chǎn)品功能

1、3D+2D全維度測量：同步實(shí)現(xiàn)微觀3D形貌表征與二維平面尺寸（長度、角度、半徑等）測量，一份設(shè)備滿足多維度檢測需求。

2、大區(qū)域高效檢測：自動拼接功能覆蓋廣范圍測量場景，無需手動拆分，避免數(shù)據(jù)斷層，提升檢測完整性。

3、智能化數(shù)據(jù)處理：調(diào)整、糾正、濾波、提取四大模塊+五大分析工具（粗糙度/幾何輪廓/結(jié)構(gòu)等），數(shù)據(jù)處理一步到位，支持自定義模板批量分析。

4、便捷化操作體驗(yàn)：集成X/Y/Z三軸操縱桿，可快速完成平移、聚焦，支持速度調(diào)節(jié)與光源亮度控制，新手也能快速上手。

5、安全防護(hù)升級：鏡頭彈簧結(jié)構(gòu)+壓力傳感器，碰撞后自動急停；無人值守時(shí)光源智能熄滅，兼顧設(shè)備保護(hù)與節(jié)能。

二、可測材料

針對國內(nèi)工業(yè)材料的多樣性與復(fù)雜性，VT6000共聚焦顯微鏡進(jìn)行了深度場景化優(yōu)化。無論是光滑/粗糙表面、低/高反射率材質(zhì)，還是半導(dǎo)體晶圓、3C玻璃屏、汽車精密配件、微納復(fù)合材料等不同類型工業(yè)材料，均可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測量，涵蓋粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率、體積等核心參數(shù)。更提供多型號選擇，從100×100mm到300×300mm的XY軸行程，搭配真空吸盤、電動位移臺等配置，適配從小型精密器件到大型工業(yè)部件的全尺寸測量需求，無需依賴進(jìn)口設(shè)備的定制化改造。

三、定制化解決方案

不同工業(yè)企業(yè)的測量場景與需求存在差異，國產(chǎn)共聚焦顯微鏡支持靈活定制服務(wù)：可根據(jù)企業(yè)需求選配5×、20×、100×（APO）等不同規(guī)格物鏡，加裝彩色影像系統(tǒng)、計(jì)量機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)證書等配件；軟件支持自定義分析模板，適配批量樣品檢測、多區(qū)域同步測量等個(gè)性化場景；針對特殊工業(yè)材料（如高反射率金屬、低對比度薄膜），可提供專屬測量方案優(yōu)化，讓設(shè)備貼合企業(yè)生產(chǎn)與研發(fā)流程。

四、應(yīng)用案例

1.半導(dǎo)體制造：檢測晶圓微觀形貌，粗糙度測量重復(fù)性≤12nm，助力提升芯片封裝良率，已服務(wù)多家頭部半導(dǎo)體企業(yè)。

2.3C電子玻璃屏：通過自動拼接功能實(shí)現(xiàn)200×200mm玻璃屏全域檢測，平面度測量精度達(dá)0.1nm，檢測效率提升40%。

3.汽車零部件：針對精密齒輪、傳感器等部件，完成微觀幾何輪廓與粗糙度檢測，數(shù)據(jù)符合國際標(biāo)準(zhǔn)，保障零部件裝配精度。

4.科研院所：為微納材料、MEMS器件研發(fā)提供精準(zhǔn)測量數(shù)據(jù)，支持結(jié)構(gòu)分析、頻率分析等深度研究需求。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置可能因技術(shù)升級調(diào)整，具體以實(shí)際溝通為準(zhǔn)。

VT6000材料共聚焦顯微鏡系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于超精密加工、航空航天、科研院所等領(lǐng)域。如需獲取對應(yīng)行業(yè)的詳細(xì)應(yīng)用案例、型號參數(shù)對比表或?qū)賵?bào)價(jià)，歡迎聯(lián)系中圖儀器。也可直接私信留言，為你提供一對一解決方案！