中圖儀器SuperViewW0.1nm級(jí)分辨率光學(xué)3D表面輪廓儀形貌重復(fù)性低至0.1nm，粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm，臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度僅0.3%，搭配氣浮隔振底座與0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)，復(fù)雜車間環(huán)境也能穩(wěn)定輸出精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。它能一站式解決超精密測(cè)量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測(cè)效率低等測(cè)量難題。應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、3C電子等多行業(yè)場(chǎng)景，數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)檢測(cè)，賦能精密制造升級(jí)。

一、產(chǎn)品功能

1.自動(dòng)化測(cè)量：操縱桿便捷操控，Mark點(diǎn)自動(dòng)定位校正，單/多區(qū)域一鍵掃描分析。

2.數(shù)據(jù)處理：去噪、濾波等四大模塊+五大分析功能，支持定制化模板批量處理。

3.安全保障：雙重鏡頭防撞+光源自動(dòng)熄燈設(shè)計(jì)，設(shè)備損耗率降低40%。

4.靈活配置：10×干涉物鏡（可選2.5×-100×），320×200mm載物臺(tái)適配不同尺寸工件。

二、自研3D顯微測(cè)量軟件平臺(tái)

Xtremevision Pro全自主開(kāi)發(fā)的第二代顯微3D測(cè)量軟件平臺(tái)，集成了圖像掃描、3D分析、影像測(cè)量、自動(dòng)化測(cè)量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識(shí)別機(jī)型種類，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測(cè)領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn)，重構(gòu)了顯微影像測(cè)量功能，可針對(duì)微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測(cè)量和自動(dòng)匹配測(cè)量。

1.自動(dòng)化mark點(diǎn)識(shí)別坐標(biāo)定位自動(dòng)化功能

Mark點(diǎn)影像識(shí)別自動(dòng)坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)定位測(cè)量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測(cè)量。

2.自動(dòng)拼接功能

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測(cè)量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測(cè)量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無(wú)縫拼接測(cè)量。

三、產(chǎn)品特點(diǎn)

1.全場(chǎng)景覆蓋

單一掃描模式適配超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，從納米到微米級(jí)工件的粗糙度、平整度、微觀輪廓等參數(shù)均可精準(zhǔn)測(cè)量，無(wú)需更換設(shè)備即可滿足多類產(chǎn)品檢測(cè)需求。

2.高精度+大范圍雙突破

復(fù)合型EPSI重建算法解決傳統(tǒng)技術(shù)瓶頸，自動(dòng)拼接功能支持方形、圓形等多種模式，數(shù)千張圖像無(wú)縫拼接，超光滑凹面弧形掃描也能實(shí)現(xiàn)無(wú)重疊縫隙重建。

3.高效自動(dòng)化降本增效

一鍵完成單/多區(qū)域自動(dòng)測(cè)量、批量分析，編程測(cè)量功能可預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)一鍵操作，單個(gè)精細(xì)器件測(cè)量用時(shí)短，大幅提升檢測(cè) throughput。

四、應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperViewW0.1nm級(jí)分辨率光學(xué)3D表面輪廓儀以0.1nm級(jí)分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，為精密制造、科研檢測(cè)等領(lǐng)域提供高精度+高效率+高適配的3D表面測(cè)量解決方案。如需獲取行業(yè)定制化方案、產(chǎn)品演示視頻或免費(fèi)樣品測(cè)試，歡迎聯(lián)系中圖儀器。

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。