中圖儀器SJ5100系列精密測長機(jī)采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補(bǔ)償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。整個測量過程不超過3分鐘，結(jié)束后自動生成結(jié)果及記錄報表。

SJ5100系列精密測長機(jī)廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計量室和各級計量鑒定部門。

應(yīng)用案例如：

機(jī)械制造：在機(jī)械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來測量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。

航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。

儀器主要功能

1、標(biāo)配功能：

檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；

光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；

螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校對桿：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

針規(guī)：φ0.1~φ10mm

三針：0.118~6.585mm；

兩點(diǎn)內(nèi)徑千分尺：25~300mm；

2、可選配功能：

小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；

螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；

螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；

鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；

外徑千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：25~300mm；

數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動校準(zhǔn)：75~300mm；

深度千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；

三爪內(nèi)徑千分尺手動校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；

表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準(zhǔn)）；

數(shù)顯半徑規(guī)手動校準(zhǔn)：R5~R700mm；

軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測量；

性能特點(diǎn)

1.  全程直接測量：

SJ5100系列高精度光柵測長機(jī)采用進(jìn)口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進(jìn)行高精度全行程直接測量。

2.  高精度、高穩(wěn)定性：

1)高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.01μm，測量精度高；

2)精密研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)導(dǎo)軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的高精度真實(shí)采集；

4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結(jié)構(gòu)保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結(jié)構(gòu)保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動過程中幾乎不產(chǎn)生變形，儀器受外界震動干擾小，保證儀器的長期穩(wěn)定可靠性；

5)采用緊湊型摩擦驅(qū)動結(jié)構(gòu)，移動摩擦驅(qū)動力小，保證了頭座移動過程中的穩(wěn)定性。

3.  雙向恒測力：

1) 特殊傳感器雙向恒測力系統(tǒng)，減小了測力對測量結(jié)果的影響，保證了高的系統(tǒng)測量精度；

2) 測力較大范圍的連續(xù)可調(diào)；

3) 非砝碼加載，測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及周圍環(huán)境振動帶來的測力誤差。

4.  智能化管理與檢測軟件系統(tǒng)：

1)儀器操作界面友好，操作者很容易基本掌握儀器操作，使用十分簡便；

2)十多年積累的實(shí)用軟件設(shè)計經(jīng)驗(yàn)，向客戶提供簡潔、實(shí)用、便捷的操作體驗(yàn)；

3)集成眾多長度標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)程，功能強(qiáng)大、自動處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢測報告，自動顯示、打印、保存、查詢檢測記錄；

4)測量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的量規(guī)、量塊等長度參數(shù)測量；

5)軟件配備快速找拐點(diǎn)指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測件的拐點(diǎn)；

6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國內(nèi)用戶服務(wù)；

7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢測操作時間；

8)本儀器采用計算機(jī)大容量數(shù)據(jù)庫儲存，可自動記錄保存所有檢測結(jié)果。

5.  方便快捷的儀器操作體驗(yàn)：

1)測帽無需調(diào)節(jié)，高精度測帽加工保障測量精度，直接安裝即可使用；

2)螺紋塞規(guī)測量三針帶支板，配合儀器測帽可快速的進(jìn)行螺紋塞規(guī)的中徑測量；

3)支持客戶使用模糊搜索量規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，并支持用戶特殊規(guī)格量規(guī)自動計算公差帶。

6.  高性能五軸工作臺：

1)X，Y，Z三軸采用高性能交叉滾子導(dǎo)軌：摩擦力小，穩(wěn)定性好，承載高；

2)Y軸平移、傾斜、水平旋轉(zhuǎn)設(shè)計了高調(diào)節(jié)細(xì)度的結(jié)構(gòu)，方便客戶更好地找到三個軸的拐點(diǎn)；

3)Z軸及Y軸可配置數(shù)顯表，可將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X，可用于錐度量規(guī)測量及螺紋螺距觀察。

7.  高性能內(nèi)尺寸測量裝置：

配置高性能環(huán)規(guī)內(nèi)測裝置，可測量小M3螺紋環(huán)規(guī)（根據(jù)選配測針），同時可完成?。é?.8mm）光滑環(huán)規(guī)檢測（選配測針）；測量力為電子測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由軟件選擇測力大?。筛鶕?jù)客戶需求定制更小測力）。

主要技術(shù)指標(biāo)

環(huán)境條件

參考校準(zhǔn)/使用環(huán)境溫濕度：

溫度：20±2℃，波動不超過0.5℃/小時

相對濕度：10~70%。

振動：按照三坐標(biāo)振動要求標(biāo)準(zhǔn)，振動速度均方根≤5um/s，振動頻率8~100Hz；

校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。