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簡要描述:中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測量,具有三維形貌測量和圖像分析的功能。適合檢測的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工(機械、光學)、半導體封裝、消費電子類這四個領(lǐng)域。
詳細介紹
| 品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 是 |
您是否還在被“材質(zhì)適配窄、精度不穩(wěn)定、粗糙度與輪廓度需分機測量、批量檢測效率低"問題困擾?中圖儀器白光干涉儀(SuperViewW系列)高精度、高效率、高適配、低運維,搭配全場景適配、自動化高效操作,在半導體、3C電子、光學加工等精密制造領(lǐng)域中解決“測量數(shù)據(jù)不可重復"“微觀粗糙度檢測精度不足"等測量難題。

1.高重復精度,數(shù)據(jù)可靠可追溯
粗糙度RMS重復性低至0.005nm,形貌重復性達0.1nm,臺階測量準確度僅0.3%,符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標準?;诎坠飧缮婕夹g(shù)與復合型EPSI重建算法,連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片,數(shù)據(jù)偏差<0.001nm,為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù),某半導體企業(yè)應用后,因測量誤差導致的返工率降低15%。
2.高速掃描+自動化,提高效率降低成本
W1-Ultra型號在0.1nm分辨率下掃描速度高達8μm/s,是傳統(tǒng)設(shè)備的4倍以上;支持單/多區(qū)域一鍵測量、陣列式批量檢測,搭配編程預設(shè)流程,實現(xiàn)無人值守自動化操作。
3.全場景適配,無需頻繁換設(shè)備
單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì),10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形、螺旋式自動拼接功能,支持數(shù)千張圖像無縫拼接。無論是半導體研磨減薄件、3C金屬殼模具,還是光學納米臺階元件,均可精準測量,滿足多品類生產(chǎn)企業(yè)一臺設(shè)備搞定全場景的需求。
4.穩(wěn)定防護雙保障,降低運維成本
氣浮式隔振底座隔絕地面振動干擾,0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價功能實時監(jiān)控干擾源;雙重鏡頭防撞保護(軟件ZSTOP+彈簧回縮結(jié)構(gòu))+光源無人值守自動熄燈設(shè)計,設(shè)備年損耗率降低至2%以下,光源使用壽命延長3年。
1.半導體制造及封裝:精準測量硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌,某頭部半導體企業(yè)應用后,工藝良率提升8%,檢測數(shù)據(jù)與國際標準樣塊偏差<0.1%。
2.3C電子:適配手機玻璃屏粗糙度檢測、金屬殼模具瑕疵識別、油墨屏高度差測量,批量檢測無需重復調(diào)試,報表自動導出(Word/Excel/PDF),滿足企業(yè)質(zhì)檢標準化需求。
3.光學加工:針對納米臺階、光學元件表面粗糙度測量,實現(xiàn)916.5nm臺階高度精準量化,助力某光學廠商降低產(chǎn)品返工率12%。
4.汽車零部件與MEMS器件:檢測精密齒輪磨損情況、軸承孔隙間隙,在復雜車間環(huán)境中保持數(shù)據(jù)穩(wěn)定,某車企將零部件質(zhì)檢周期從1.5小時縮短至40分鐘。

SuperView W中圖儀器白光干涉儀助力企業(yè)提升質(zhì)檢效率、降低成本、保障產(chǎn)品品質(zhì)?,F(xiàn)面向全國制造企業(yè)、檢測機構(gòu)、科研單位開放合作,提供定制化測量解決方案與專業(yè)技術(shù)支持。
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