微觀粗糙度檢測精度不足？粗糙度與輪廓度需分機測量？批量檢測效率低？中圖儀器光學(xué)三維表面輪廓儀（SuperViewW系列）粗糙度RMS重復(fù)性低至0.005nm，形貌重復(fù)性達0.1nm，臺階測量準(zhǔn)確度僅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)。

SuperViewW光學(xué)三維表面輪廓儀基于白光干涉技術(shù)與復(fù)合型EPSI重建算法，搭配全場景適配、自動化高效操作，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù)，某半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后，因測量誤差導(dǎo)致的返工率降低15%。

一、解決哪些行業(yè)痛點？

二、有哪些產(chǎn)品優(yōu)勢？

1.高重復(fù)精度，數(shù)據(jù)可靠可追溯

粗糙度RMS重復(fù)性低至0.005nm，形貌重復(fù)性達0.1nm，臺階測量準(zhǔn)確度僅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)?；诎坠飧缮婕夹g(shù)與復(fù)合型EPSI重建算法，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù)，某半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后，因測量誤差導(dǎo)致的返工率降低15%。

2.高速掃描+自動化，提高效率降低成本

W1-Ultra型號在0.1nm分辨率下掃描速度高達8μm/s，是傳統(tǒng)設(shè)備的4倍以上；支持單/多區(qū)域一鍵測量、陣列式批量檢測，搭配編程預(yù)設(shè)流程，實現(xiàn)無人值守自動化操作。

3.全場景適配，無需頻繁換設(shè)備

單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形、螺旋式自動拼接功能，支持?jǐn)?shù)千張圖像無縫拼接。無論是半導(dǎo)體研磨減薄件、3C金屬殼模具，還是光學(xué)納米臺階元件，均可精準(zhǔn)測量，滿足多品類生產(chǎn)企業(yè)一臺設(shè)備搞定全場景的需求。

4.穩(wěn)定防護雙保障，降低運維成本

氣浮式隔振底座隔絕地面振動干擾，0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價功能實時監(jiān)控干擾源；雙重鏡頭防撞保護（軟件ZSTOP+彈簧回縮結(jié)構(gòu)）+光源無人值守自動熄燈設(shè)計，設(shè)備年損耗率降低至2%以下，光源使用壽命延長3年。

5.自研軟件平臺

Xtremevision Pro支持多機型自動識別，白光干涉與共聚焦模式自由切換，可直接測量微觀輪廓的距離、角度等參數(shù)。

三、應(yīng)用場景

1.半導(dǎo)體制造：適配硅晶片研磨減薄后的粗糙度檢測、光刻槽道輪廓測量，助力頭部企業(yè)工藝良率提升8%，檢測數(shù)據(jù)通過國際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，滿足供應(yīng)鏈合規(guī)要求。

2.3C電子：精準(zhǔn)測量手機玻璃屏粗糙度、金屬殼模具瑕疵、油墨屏高度差，批量檢測報表支持Word/Excel/PDF格式自動導(dǎo)出，適配供應(yīng)鏈質(zhì)檢存檔需求。

3.光學(xué)加工：量化納米臺階高度、光學(xué)元件表面輪廓，916.5nm臺階測量重復(fù)性達0.08%，幫助企業(yè)產(chǎn)品合格率從92%提升至99.2%。

4.汽車零部件：檢測精密軸承孔隙間隙、齒輪表面磨損輪廓，在復(fù)雜車間環(huán)境中保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定，某車企質(zhì)檢周期縮短50%。

四、定制化服務(wù)

可根據(jù)行業(yè)需求定制測量模板、分析參數(shù)，提供免費樣品測試與行業(yè)專屬解決方案設(shè)計。

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注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實際交付為準(zhǔn)，廠家保留根據(jù)技術(shù)升級調(diào)整相關(guān)內(nèi)容的權(quán)利，恕不另行通知。