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SuperViewW1表面粗糙度光學(xué)測(cè)量?jī)x采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測(cè)量精度要求為0.75%，重復(fù)精度要求0.1%（1σ）（測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差），主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測(cè)量，主要測(cè)量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓等。

SJ5718-R在線粗糙度儀具有精度高、使用方便、功能強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長(zhǎng)度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測(cè)量，并且具有的CNC功能能進(jìn)行一系列操作自動(dòng)化，可高效率地進(jìn)行測(cè)量作業(yè)。

大量程粗糙度測(cè)量?jī)x是一款表面粗糙度測(cè)量?jī)x器；采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機(jī)、音圈電機(jī)測(cè)力系統(tǒng)、高性能粗糙度測(cè)量模塊、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面粗糙度的測(cè)量和分析

小型粗糙度測(cè)量?jī)x通過(guò)高精度研磨導(dǎo)軌、高性能直線電機(jī)保證測(cè)量的高穩(wěn)定性及直線度，采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)建立工件表面粗糙度微觀輪廓的二維坐標(biāo)，計(jì)算機(jī)通過(guò)修正算法對(duì)光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，最終還原出工件粗糙度信息并以曲線圖顯示出來(lái)，通過(guò)軟件提供的分析工具可對(duì)粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。

由于硅晶圓的粗糙度檢測(cè)精度已到亞納米量級(jí)，而在此量級(jí)上，接觸式輪廓儀和一般的非接觸式儀器均無(wú)法滿足檢測(cè)要求，只有結(jié)合了光學(xué)干涉原理和精密掃描模塊的SuperViewW1晶圓粗糙度檢測(cè)儀器才適用。

中圖儀器SuperViewW1 非接觸粗糙度測(cè)量?jī)x分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測(cè)量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測(cè)量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。