真空衰減法密封儀也叫真空指數(shù)法密封儀，是一種用于測量微處理器封裝物中氣體的滲透率的測試儀。它通過改變空氣壓力，測量氣體在管內(nèi)、容器內(nèi)、空腔內(nèi)擴(kuò)散性能，從而評估封裝物的密封性。有一定容量的真空腔，在這個真空腔內(nèi)，存儲了大量的壓縮空氣，然后使用活塞筒或杠桿來拉動真空閥，改變真空腔壓力，該真空腔內(nèi)的氣體從壓力大的地方向壓力小的地方移動，這樣就形成了一個真空衰減的過程。通常情況下，當(dāng)真空腔內(nèi)的氣體溫度保持恒定，同時真空腔的壓力也保持恒定，也就可以正確的測量出氣體滲透率。

　　如何操作？

　　1.使用之前，首先要確保電源通斷，以及真空腔內(nèi)的油氣已經(jīng)排盡，并將真空腔放置水平，以減少氣體滲透的影響。

　　2.接著，依次打開電源和真空閥，使真空腔內(nèi)壓力降低，直到達(dá)到預(yù)設(shè)的值，然后關(guān)閉真空閥。

　　3.將樣品放置在真空腔內(nèi)，等待規(guī)定的時間，通常是十幾分鐘，以確保樣品有足夠的時間在真空環(huán)境中接受測試。

　　4.測試完成后，打開真空閥，快速讓真空腔內(nèi)的壓力回復(fù)到正常，然后關(guān)閉電源和真空閥。

　　應(yīng)該注意哪些？

　　1、外殼應(yīng)全部打開，將被測件的相關(guān)參數(shù)設(shè)置好，如排氣孔、進(jìn)氣孔大小、進(jìn)氣壓力等。

　　2、在給儀器供電前，應(yīng)先檢查儀表各參數(shù)，并且確保電源電壓穩(wěn)定。

　　3、將儀器的真空泵連接上，打開真空泵，將真空腔內(nèi)的空氣抽空。

　　4、在真空腔內(nèi)調(diào)整壓力到預(yù)設(shè)值，使壓力保持穩(wěn)定，然后將帶有被測物的密封件安裝入真空腔內(nèi)，并緊固它們。

　　5、操作者要用手動調(diào)節(jié)閥來控制真空衰減儀，按照相關(guān)參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，以控制真空衰減儀的閥門氣流量，然后讓它衰減到所需的壓力值。

　　6、當(dāng)被測物達(dá)到設(shè)定壓力時，真空衰減儀應(yīng)停止衰減，通過測試被測物是否滿足所需的密封標(biāo)準(zhǔn)來檢查密封情況，如果不滿足要求則應(yīng)重新調(diào)整真空衰減儀，直到滿足要求為止。

　　7、完成測試后，請及時關(guān)閉真空衰減儀的電源，并且及時將密封件及相關(guān)連接管路拆開，避免影響下一次測試。